产品特性:光栅 | 是否进口:否 | 产地:德国 |
品牌:HEIDENHAIN | 型号:LC483等 |
海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基体为钢带。
这些精密光栅通过多种光刻工艺制造。光栅刻制方法有:在玻璃上镀硬铬线;在镀金钢带上蚀刻线条,或者在玻璃或钢材基体上蚀刻三维结构图案。
海德汉公司开发的光刻工艺生产的栅距典型值为40μm至4μm。
这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅外,而且它刻制的光栅线条边缘清晰、均匀。再加上光电扫描法,这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。
母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线机制造。